OMAL撥叉式氣動執行器在半導體制造行業反滲透工藝上的解決方案
作者： 得銳自動化發表時間：2023-10-07 13:54:17瀏覽量：795【小中大】
氣動執行器是一種廣泛應用于各種工業領域的設備，而在半導體制造行業反滲透工藝中，它也扮演著重要的角色。下面，我們就來探討OMAL撥叉式氣動執行器在半導體制造行業反滲透工藝上的解決方案。
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氣動執行器是一種廣泛應用于各種工業領域的設備，而在半導體制造行業反滲透工藝中，它也扮演著重要的角色。下面，我們就來探討OMAL撥叉式氣動執行器在半導體制造行業反滲透工藝上的解決方案。
了解一下半導體制造行業反滲透工藝的背景。在半導體制造過程中，超純水是不可或缺的。而反滲透工藝是一種常用的水處理技術，可以有效去除水中的微粒、離子、有機物等雜質，從而得到超純水。反滲透工藝需要精密的控制系統來確保產水的質量。
氣動執行器在半導體制造行業反滲透工藝上的應用廣泛且深入。半導體設備制造廠在日常生產中需要大量用水，從晶圓制造過程到設施和一般公用事業的各種應用都需要水的支持。然而，為了確保高純度水的供應，同時考慮到全球范圍內日益突出的水資源問題，反滲透工藝在半導體制造行業中的地位愈發重要。
反滲透是一種制備高純度水的主要處理過程，它利用半透膜的特性，在壓力的作用下，將水分子和小的溶質分子從一側通過膜向另一側遷移，從而去除水中的溶解鹽類、有機物等雜質，得到純度極高的水。在半導體制造過程中，這種高純度水被廣泛應用于以下方面：
1. 過程冷卻水（PWC）：在半導體制造過程中，許多設備需要使用冷卻水來保持工作溫度，例如在化學機械拋光（CMP）工藝中，就需要用冷卻水來控制拋光頭的溫度。
2. 高純、晶圓清洗：高純度水在晶圓清洗過程中起著至關重要的作用，它可以將晶圓表面的污垢、塵埃、雜質等清洗干凈，保證產品的質量和性能。
3. 處理廠：處理廠是半導體制造過程中負責廢水回收和處理的部分，使用高純度水可以更有效地進行廢水處理和回收利用。
除了上述應用外，OMAL撥叉式氣動執行器在半導體制造行業的反滲透工藝中還有其他的應用，包括去離子水工廠等。這些應用都得益于反滲透工藝的高效和高純度水制備能力，以及OMAL撥叉式氣動執行器在控制和調節反滲透系統方面的優秀表現。
OMAL撥叉式氣動執行器還具備良好的防爆性能和防火性能，可以在危險環境中安全使用。這對于半導體制造行業來說是非常重要的，因為半導體制造過程中使用的化學物質和高溫環境可能會引發爆炸和火災等危險。
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